[发明专利]功率用半导体装置有效
申请号: | 201210060051.4 | 申请日: | 2012-03-09 |
公开(公告)号: | CN102694032A | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 小林政和 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L29/06 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 许海兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种功率用半导体装置,具备:第1导电类型的第1半导体层(1)、第1导电类型的第2半导体层(2)、第2导电类型的第3半导体层(3)、第2导电类型的第4半导体层(4)、第1主电极(5)及第2主电极(6)。第2半导体层(2)设置在第1半导体层(1)上,第3半导体层(3)选择性地设置于第2半导体层(2)的表面。第4半导体层(4)选择性地设置于第3半导体层(3)的表面,具有比第3半导体层(3)的第2导电类型杂质的浓度高的第2导电类型杂质的浓度。第3半导体层(3)具有载流子寿命降低区域,该载流子寿命降低区域与第4半导体层(4)的底面邻接并与第2半导体层(2)有间隔,被处理为使载流子寿命变短。 | ||
搜索关键词: | 功率 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种功率用半导体装置,其特征在于,具备:第1导电类型的第1半导体层;第1导电类型的第2半导体层,设置在所述第1半导体层上,并具有比所述第1半导体层的第1导电类型杂质的浓度低的第1导电类型杂质的浓度;第2导电类型的第3半导体层,设置于所述第2半导体层的与所述第1半导体层相反侧的表面;第2导电类型的第4半导体层,选择性地设置于所述第3半导体层的与所述第1半导体层相反侧的表面,并具有比所述第3半导体层的第2导电类型杂质的浓度高的第2导电类型杂质的浓度;第1主电极,电连接到所述第1半导体层;以及第2主电极,电连接到所述第4半导体层,其中,所述第3半导体层具有载流子寿命降低区域,该载流子寿命降低区域与所述第4半导体层的所述第1半导体层侧的底面邻接,并与所述第2半导体层有间隔,被处理为使载流子寿命变短。
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