[发明专利]半导体参数测试仪器的测试探针的电阻测试方法有效
| 申请号： | 201210052007.9 | 申请日： | 2012-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102590630A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 范象泉 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/14 | 分类号： | G01R27/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种半导体参数测试仪器的测试探针的电阻测试方法，参数测试仪器至少包括第一测试探针、第二测试探针、第三测试探针和第四测试探针，测试仪器可以通过测试探针提供设定值大小的电流、电压或测量测试点的电压、电流，所述方法为把四个测试探针共同放在同一测试金属块上，然后进行以下两个步骤：设置第一测试探针提供第一电流、第一电压，第二测试探针、第三测试探针和第四测试探针分别设定电压为零，同时测试电流；设置第一测试探针提供第二电流、第二电压，第二测试探针设定电流为零并测试电压，第三测试探针和第四测试探针提供设定电压为零，同时测试电流。通过该方法，能够较快且精准的测量出多个测试探针的电阻值。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 参数 测试 仪器 探针 电阻 方法 | ||
【主权项】：
一种半导体参数测试仪器的测试探针的电阻测试方法，所述参数测试仪器至少包括四个测试探针，分别为第一测试探针、第二测试探针、第三测试探针和第四测试探针，所述参数测试仪器可以通过测试探针提供设定值大小的电流、电压，并可以通过测试探针测量测试点的电压、电流，其特征在于，所述电阻测试方法包括：把四个测试探针共同放在同一测试金属块上，然后进行以下两个步骤：设置第一测试探针提供第一电流、第一电压，第二测试探针、第三测试探针和第四测试探针分别设定电压为零，同时测试电流；设置第一测试探针提供第二电流、第二电压，第二测试探针设定电流为零并测试电压，第三测试探针和第四测试探针提供设定电压为零，同时测试电流。
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