[发明专利]一种硅片预对准测量装置有效
| 申请号： | 201210022850.2 | 申请日： | 2012-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN103246166A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 王邵玉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种硅片预对准测量装置，包括三组视觉光机和壳体，对工作台上放置的被测硅片进行预对准操作，所述壳体用以固定所述三组视觉光机，所述视觉光机包括成像CCD、成像光路和照明光路，所述视觉光机还包括一反射镜，来自所述被测硅片的光线由所述反射镜改变角度后经所述成像光路进入所述成像CCD；所述三组视觉光机的成像光路在平行于所述被测硅片的同一平面内；所述三组视觉光机分别获取所述被测硅片的三段边缘信息，根据获取的硅片边缘信息，计算获得所述硅片的偏心偏向残差。该硅片预对准测量装置的优点在于提高预对准精度、结构独立性强、结构紧凑，不限制投影物镜的空间，离线调整灵活性强，对周围微环境的温度影响降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 对准 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片预对准测量装置，包括三组视觉光机和壳体，对工作台上放置的被测硅片进行预对准操作，所述壳体用以固定所述三组视觉光机，所述视觉光机包括成像CCD、成像光路和照明光路，其特征在于，所述视觉光机还包括一反射镜，来自所述被测硅片的光线由所述反射镜改变角度后经所述成像光路进入所述成像CCD；所述三组视觉光机的成像光路在平行于所述被测硅片的同一平面内；所述三组视觉光机分别获取所述被测硅片的三段边缘信息，根据获取的硅片边缘信息，计算获得所述硅片的偏心偏向残差。
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