[发明专利]一种硅片预对准测量装置

权利要求书

1.一种硅片预对准测量装置，包括三组视觉光机和壳体，对工作台上放置的被测硅片进行预对准操作，所述壳体用以固定所述三组视觉光机，所述视觉光机包括成像CCD、成像光路和照明光路，其特征在于，

所述视觉光机还包括一反射镜，来自所述被测硅片的光线由所述反射镜改变角度后经所述成像光路进入所述成像CCD；

所述三组视觉光机的成像光路在平行于所述被测硅片的同一平面内；

所述三组视觉光机分别获取所述被测硅片的三段边缘信息，根据获取的硅片边缘信息，计算获得所述硅片的偏心偏向残差。

2.根据权利要求1所述的预对准测量装置，其特征在于，所述三组视觉光机的取像点分布在一半圆弧上，且相邻两组视觉光机的取像点的圆心角成90度。

3.根据权利要求1所述的预对准测量装置，其特征在于，所述视觉光机的照明光路，位于所述三组视觉光机成像光路所在的平面内。

4.根据权利要求3所述的预对准测量装置，其特征在于，所述成像光路和所述照明光路同轴。

5.根据权利要求1所述的预对准测量装置，其特征在于，还包括散热板，所述散热板贴合于所述成像CCD。

6.根据权利要求5所述的预对准测量装置，其特征在于，所述散热板通过导热硅胶贴合于所述成像CCD。

7.根据权利要求6所述的预对准测量装置，其特征在于，所述散热板还包括冷却循环装置，通过投影物镜镜头冷却水实现热交换。

8.根据权利要求1所述的预对准测量装置，其特征在于，还包括三个反射镜，位于所述工作台上，所述三个反射镜与所述三组视觉光机位置对应，用以反射所述视觉光机发出的照明光，为所述视觉光机提供背光。

9.根据权利要求1所述的预对准测量装置，其特征在于，所述预对准测量装置位于光刻机主基板下方，光刻机投影物镜侧方，所述工作台上方，所述壳体与所述光刻机主基板连接。

10.根据权利要求1至9任一所述的预对准测量装置，其特征在于，所述壳体由上接口板、下接口板及连接件组成，所述的预对准测量装置通过所述上接口板与所述光刻机主基板连接，所述下接口板用以承载所述三组视觉光机，连接件用以连接所述上接口板和所述下接口板。

11.根据权利要求10所述的预对准测量装置，其特征在于，还包括三块光机调整板，每一所述视觉光机分别通过一所述光机调整板与下接口板连接，所述光机调整板对所述视觉光机进行6自由度调整。

12.根据权利要求10所述的预对准测量装置，其特征在于，所述上接口板与所述下接口板间的所述连接件，为三组差分调整器，用以调整所述预对准测量装置整体水平度。

13.根据权利要求10所述的预对准测量装置，其特征在于，所述上接口板接口处设置有RZ向调整机构。