[发明专利]实现等离子体刻蚀腔体弹性接触的连接器件

摘要

一种实现等离子体刻蚀腔体弹性接触的连接器件，该连接器件包含一个垫圈槽、设置在垫圈槽内的衬套、以及设置在衬套内并与衬套弹性接触的具有压接头的接地圈，具有压接头的接地圈与衬套之间的弹性接触，该连接器件还包含设置在具有压接头的接地圈的一侧或两侧的O形密封圈。本发明保证了等离子体刻蚀腔体内RF的传输更加稳定，获得稳定的RF分布。

主权项

一种实现等离子体刻蚀腔体弹性接触的连接器件，该连接器件设置在等离子体刻蚀腔体内，由导电材料构成，该连接器件的一端固定并电连接到反应腔体中的阴极，该阴极连接到射频电源，该连接器件的另一端固定到接地的反应腔内壁，该连接器件和反应腔内壁构成一个电接触面，其特征在于，所述的连接器件包含一个垫圈槽（1）、设置在垫圈槽（1）内的衬套（102）、以及设置在衬套（102）内并与衬套（102）弹性接触的具有压接头的接地圈（101），具有压接头的接地圈（101）与衬套（102）之间的弹性接触，保证了接触面能够很好地接地，从而保证RF的传输更加稳定，获得稳定的RF分布。