[发明专利]石墨烯结构及其制造方法、石墨烯器件及其制造方法有效
| 申请号： | 201210011942.0 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN102856354B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 崔秉龙;李银京;黄同穆 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/16 | 分类号： | H01L29/16;H01L29/786;H01L29/06;H01L29/775;H01L21/02;C01B32/00;C01B32/186;B82Y10/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 冯玉清 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供石墨烯结构及其制造方法、石墨烯器件及其制造方法。该石墨烯结构包括：基板；生长层，形成在基板上并具有暴露的侧表面；以及石墨烯层，从生长层的侧表面生长。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 结构 及其 制造 方法 器件 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯结构，包括：基板；第一生长层，形成在所述基板上并具有暴露的侧表面；以及第一石墨烯层，从所述第一生长层的侧表面生长；第一保护层，形成为覆盖所述第一生长层的上表面；第二生长层和第二保护层，交替堆叠在所述第一保护层上且具有暴露的侧表面；以及第二石墨烯层，从所述第二生长层的侧表面生长。
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