[发明专利]用于在挤压工具上生成涂层的方法有效
申请号: | 201180072984.9 | 申请日: | 2011-12-29 |
公开(公告)号: | CN103748264A | 公开(公告)日: | 2014-04-23 |
发明(设计)人: | J.梅尔;O.梅尔;W.伯金;H.霍尔兹舒 | 申请(专利权)人: | WEFA辛根有限责任公司 |
主分类号: | C23C16/36 | 分类号: | C23C16/36;B21C25/02 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 侯宇 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种用于在由耐高温和/或持久耐热的钢材料构成的作为基体的挤压工具上、借助化学气相沉积(CVD)制造一层或多层的涂层的方法,具有以下步骤:提供由在处于400℃至950℃的范围中的、尤其在500℃至640℃之间的挤压工作温度下持久耐热的并且设置用于与延展的挤压金属配合作用的钢材料、尤其是耐热工具钢构成的基体,将具有金属、尤其是钛的第一反应气体引导进用于提供涂层金属的、容纳基体的反应器中,将具有碳化合物的第二反应气体引入反应器中用于提供用于涂层的碳,其中第一和/或第二反应气体或其他反应气体提供用于涂层的氮,利用反应气体在700℃至950℃、尤其800℃至900℃范围中的中温下实施CVD涂层过程,用于这样制造涂层,使得碳和氮之间的比例、尤其是重量和/或原子百分比在涂层的至少一层中为C/N>1,尤其是C/N>=1.5,优选C/N>2和/或所述涂层的至少一层具有圆柱的和/或柱形的结构,该结构具有大量的相互相邻的、相互平行并且垂直于基体表面定向的、尤其柱状的组织部段。 | ||
搜索关键词: | 用于 挤压 工具 生成 涂层 方法 | ||
【主权项】:
一种用于在由耐高温和/或持久耐热的钢材料构成的作为基体的挤压工具上、借助化学气相沉积(CVD)制造一层或多层的涂层的方法,具有以下步骤:‑提供由在处于400℃至950℃的范围中的、尤其在500℃至640℃之间的挤压工作温度下持久耐热的并且设置用于与延展的挤压金属配合作用的钢材料、尤其是耐热工具钢构成的基体,‑将具有金属、尤其是钛的第一反应气体导入容纳所述基体的反应器中,用于提供涂层金属,‑将具有碳化合物的第二反应气体导入反应器中,用于提供用于涂层的碳,‑其中第一和/或第二反应气体或其他反应气体提供用于涂层的氮,‑利用反应气体在700℃至950℃、尤其800℃至900℃的中温下实施CVD涂层过程,以用于这样制造涂层,使得碳和氮之间的比例、尤其是重量和/或原子百分比在涂层的至少一层中为C/N>1,尤其是C/N>=1.5,优选C/N>2和/或所述涂层的至少一层具有圆柱的和/或柱形的结构,该结构具有大量的相互相邻的、相互平行并且垂直于基体表面定向的、尤其柱状的组织部段。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的