[发明专利]用双金刚石涂层涂布微机械零件的方法有效
| 申请号： | 201180055106.6 | 申请日： | 2011-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN103249864A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | S·布尔班;D·里夏尔;B·吉洛门;D·施泰因米勒;H·德雷克泽尔;D·施泰因米勒;S·格霍德巴内 | 申请（专利权）人： | 斯沃奇集团研究及开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;D04B15/14;B81B3/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 韦欣华;李进 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 涂布微机械系统中的微机械零件，尤其是手表机芯的方法，包括：提供待涂布的基体(4)零件；为所述零件提供掺杂有硼的第一金刚石涂层(2)；为所述零件提供第二金刚石涂层(3)；其中：所述第二金刚石涂层(3)在反应室中通过CVD提供；在CVD沉积过程中，在生长过程的最后阶段，在反应室内可控地增大碳含量，由此使sp2/sp3碳键(6)的增大到sp2含量大体上为1％至45％。另外还提供了相应的微机械零件。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 涂层 微机 零件 方法 | ||
【主权项】：
涂布微机械系统的微机械零件的方法，尤其是涂布手表机芯的方法，包括：提供待涂布的基体(4)零件；为所述零件提供第一金刚石涂层(2)，其是掺杂的以提高金刚石层的电导率；为所述零件提供第二金刚石涂层(3)；其中：所述第二金刚石涂层(3)是通过在反应室中沉积来提供的；在所述第二涂层(3)的沉积过程中，在所述反应室内提供可控地增大的碳含量，从而使涂层的基本上外面部分的SP2/SP3碳键(6)增加到SP2含量为大致1％‑75％。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
