[发明专利]用双金刚石涂层涂布微机械零件的方法

权利要求书

1.涂布微机械系统的微机械零件的方法，尤其是涂布手表机芯的方法，包括：

提供待涂布的基体(4)零件；

为所述零件提供第一金刚石涂层(2)，其是掺杂的以提高金刚石层的电导率；

为所述零件提供第二金刚石涂层(3)；其中：

所述第二金刚石涂层(3)是通过在反应室中沉积来提供的；

在所述第二涂层(3)的沉积过程中，在所述反应室内提供可控地增大的碳含量，从而使涂层的基本上外面部分的SP2/SP3碳键(6)增加到SP2含量为大致1％-75％。

2.根据权利要求1所述的涂布微机械系统的微机械零件的方法，其中，所述sp2含量为大致1％-45％，最优选为15％-30％。

3.根据权利要求1或2所述的涂布微机械系统的微机械零件的方法，其中第一金刚石涂层掺杂有硼、磷、硫或铝。

4.根据权利要求1-3任一项所述的涂布微机械系统的微机械零件的方法，其中第一和第二金刚石涂层是在反应室内通过CVD提供的。

5.根据权利要求14任一项所述的涂布微机械系统的微机械零件的方法，其中第一层的厚度为500nm-100μm，最优选小于10微米。

6.根据权利要求1-5任一项所述的涂布微机械系统微机械零件的方法，其中第二层的厚度为1-100μm，最优选小于10微米。

7.根据前述任一权利要求所述的涂布微机械系统的微机械零件的方法，其中所述微机械零件为擒纵轮，且其中在处理过程中，擒纵轮安置在难熔丝上，以使擒纵轮的旋转轴基本上水平。

8.根据前述任一权利要求所述的涂布微机械系统的微机械零件的方法，其中所述碳含量的增大是通过增大含碳反应气体的含量实现的。

9.根据前述任一权利要求所述的涂布微机械系统的微机械零件的方法，其中所述碳含量的增大是通过添加额外的含碳气体实现的。

10.根据前述任一权利要求所述的涂布微机械系统的微机械零件的方法，其中所述碳含量的增大是通过提高处理反应室内的温度和/或压力实现的。

11.根据前述任一权利要求所述的涂布微机械系统的微机械零件的方法，其中所述碳含量的增大是通过向反应室内添加气态氮实现的。

12.根据前述任一权利要求所述的涂布微机械系统的微机械零件的方法，其中所述碳含量的增大是通过用氩替代氢实现的。

13.根据前述任一权利要求所述的涂布微机械系统的微机械零件的方法，其中所述碳含量的增大是通过添加至少一种稀有气体实现的。

14.用于微机械系统的微机械零件，尤其是手表机芯，其中所述零件是用根据权利要求1-13任一项所述的方法获得的。

15.根据权利要求14所述的微机械零件，其中所述零件为擒纵轮或擒纵叉。