[发明专利]电容排列体以及具备该电容排列体的信号处理装置无效

申请号：	201180051474.3	申请日：	2011-05-17
公开（公告）号：	CN103180938A	公开（公告）日：	2013-06-26
发明（设计）人：	松川和生;崎山史朗;柳泽直志	申请（专利权）人：	松下电器产业株式会社
主分类号：	H01L21/822	分类号：	H01L21/822;H01L21/3205;H01L23/52;H01L27/04
代理公司：	中科专利商标代理有限责任公司 11021	代理人：	汪惠民
地址：	日本***	国省代码：	日本;JP
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摘要：	本发明提供一种电容排列体以及具备该电容排列体的信号处理装置。在具备共享梳形状的共用电极(10)的多个梳形电容(20a、20b、20c)的电容排列体(1)中，多个梳形电容(20a、20b、20c)中的至少1个梳形电容将梳形状的电极作为基本部分(21)，并具有1个该基本部分(21)，多个梳形电容(20a、20b、20c)的其余梳形电容具有将多个基本部分(21)相互连接而成的电极，在其余梳形电容(20b、20c)中，将多个基本部分(21)彼此连接的布线(25)与共用电极(10)的梳齿(12)的前端之间的间隙被确保为大于基本部分(21)的基部(22)与共用电极(10)的梳齿(12)的前端之间的间隙。
搜索关键词：	电容排列以及具备信号处理装置
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【主权项】：

一种电容排列体，具备共享梳形状的共用电极的多个梳形电容，其特征在于，上述多个梳形电容中的至少1个梳形电容将梳形状的电极作为基本部分，并具备1个该基本部分，上述多个梳形电容的其余梳形电容具有将多个上述基本部分相互连接而成的电极，在上述其余梳形电容中，将多个上述基本部分彼此连接的布线与上述共用电极的梳齿的前端之间的间隙被确保为大于上述基本部分的基部与上述共用电极的梳齿的前端之间的间隙。

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H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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