[发明专利]层叠型压电致动器以及压电振动装置

摘要

本发明提供一种层叠型压电致动器及压电振动装置，即便使作为最外层的陶瓷层的不活泼层的厚度变薄从而提高了位移量，也难以产生陶瓷烧结体的破坏。层叠型压电致动器(1)在由压电陶瓷构成的陶瓷烧结体(2)内，第1内部电极(3a～3d)和第2内部电极(4a～4d)隔着陶瓷层而对置，夹在第1内部电极(3a～3d)与第2内部电极(4a～4d)之间的陶瓷层作为活性层，在层叠了活性层的部分的上方配置第1不活泼层(2g)，在下方配置第2不活泼层(2f)，作为不活泼层的陶瓷层(2f、2g)的厚度比作为活性层的陶瓷层(2e)的厚度薄，并且在陶瓷烧结体2的层叠方向上俯视时，内部电极形成为隔着不活泼层不与连接于不同的电位的第1、第2外部电极(5、6)重叠。

主权项

一种层叠型压电致动器，具备：陶瓷烧结体，其由压电陶瓷构成，并且具有上表面、下表面以及相对置的第1端面、第2端面；多个第1内部电极，形成在所述陶瓷烧结体内，并且被引出到所述第1端面；多个第2内部电极，形成在所述陶瓷烧结体内，并且被引出到所述第2端面；多个陶瓷层，形成在所述陶瓷烧结体内，并且与所述第1内部电极以及所述第2内部电极一起层叠；第1外部电极，其形成在所述陶瓷烧结体的第1端面；以及第2外部电极，其形成在所述陶瓷烧结体的第2端面，所述第1内部电极和所述第2内部电极在陶瓷烧结体内隔着所述陶瓷层相对置，夹在所述第1内部电极与第2内部电极之间的陶瓷层作为活性层，具有多个活性层，在所述陶瓷烧结体内，所述多个第1内部电极、第2内部电极中的位于最上部的内部电极与陶瓷烧结体的上表面之间的陶瓷层作为第1不活泼层，所述多个第1内部电极、第2内部电极中的位于最下部的内部电极与陶瓷烧结体的下表面之间的陶瓷层作为第2不活泼层，在作为所述不活泼层的陶瓷层的厚度比作为所述活性层的陶瓷层的厚度薄，并且将第1内部电极或者第2内部电极的长度设为从引出该第1内部电极或者第2内部电极的第1端面或者第2端面到该第1内部电极或者第2内部电极的顶端的距离时，位于所述最上部的内部电极以及位于最下部的内部电极的长度的至少一方比其他内部电极的长度短，在所述陶瓷烧结体的层叠方向上俯视时，所述第1外部电极、第2外部电极形成为隔着不活泼层而与最上部以及最下部的所述内部电极中的连接于不同的电位的内部电极不重叠。