[发明专利]层叠型压电致动器以及压电振动装置

说明书

技术领域

本发明涉及采用了隔着陶瓷层层叠有多个内部电极的层叠型陶瓷烧结体的层叠型压电致动器，更详细而言涉及采用了在最外层具有不活泼层的陶瓷烧结体的层叠型压电致动器。此外，本发明涉及具备振动板并且在振动板上接合了层叠型压电致动器的压电振动装置。

背景技术

以往，提出了各种采用了隔着压电陶瓷层层叠有多个内部电极的层叠型陶瓷烧结体的层叠型压电致动器、压电蜂鸣器等。

例如，在下述的专利文献1中公开了在上述层叠型陶瓷烧结体上粘贴由钢板构成的振动板的压电蜂鸣器。其中，层叠型陶瓷烧结体的振动板侧的陶瓷层没有进行极化处理。据此，该陶瓷层作为缓和层。因此，能够使由陶瓷烧结体和振动板构成的振动体的弯曲振动平滑化。

但是，在将专利文献1所记载的压电蜂鸣器应用于压电致动器时，未被极化处理的陶瓷层成为不活泼的陶瓷层。即，成为对压电效果没有贡献的不活泼层。因此，不活泼层成为约束层，位移量有可能变小。

相对于此，在下述的专利文献2中公开了具有图15所示的构造的层叠型压电致动器1001。在层叠型压电致动器1001中，在层叠型陶瓷烧结体1002内在层叠方向上交替配置有多个第1内部电极1003和多个第2内部电极1004。此外，在陶瓷烧结体1002的第1端面形成有第1外部电极1005。在陶瓷烧结体1002的第2端面形成有第2外部电极1006。

在陶瓷烧结体1002的上表面，按照在层叠方向上俯视时与最上部的第1内部电极1003重叠的方式形成有表面电极1006a。另一方面，在陶瓷烧结体1002的下表面没有形成表面电极。因此，最下部的第1内部电极1003与陶瓷烧结体1002的下表面之间的陶瓷层、即最下层的陶瓷层被设为不活泼层。该不活泼层的厚度被设为比作为活性层的其它陶瓷层的厚度薄。因为作为不活泼层的最下层的陶瓷层的厚度被设定得较薄，所以难以约束层叠型压电致动器1001的位移。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开昭61-103397号公报

专利文献2：JP特开2005-285817号公报

发明内容

-发明要解决的课题-

在专利文献2所记载的层叠型压电致动器1001等中，第1、第2外部电极1005、1006通过导电糊的涂敷/烧接等而形成。在该情况下，如图16的箭头A所示，第2外部电极1006从陶瓷烧结体1002的第2端面卷绕到下表面，形成卷绕部1006b。在卷绕部1006b的长度(从作为与第2外部电极1006连接的部分的基端到卷绕部1006b的顶端的尺寸)较长的情况下，在层叠方向上俯视时卷绕部1006b隔着最下层的陶瓷层与最下部的第1内部电极1003重叠。因此，如图16所示，作为不活泼层的最下层的陶瓷层的一部分成为活性部。因为作为不活泼层的最下层的陶瓷层的厚度较薄，所以在上述活性部，与作为活性层的其他陶瓷层相比，施加较高的电场。因此，陶瓷层有可能在高电场区域X内被破坏。

此外，如图15所示，在缩短了第1、第2内部电极1003、1004的长度(从作为第1、第2内部电极1003、1004的端面侧部分的基端到第1、第2内部电极1003、1004的顶端的尺寸)的情况下，即使形成了图16所示的卷绕部，卷绕部与最下部的第1内部电极1003在层叠方向上俯视时隔着最下层的陶瓷层也不重叠。

但是，在该情况下，第1、第2内部电极1003、1004在层叠方向上俯视时重叠的部分即活性部的长度、即连结陶瓷烧结体1002的第1、第2端面间的方向上的该活性部的长度L变短。而且，在该活性部的上述长度方向两侧存在不活泼部，不活泼部变大。因此，层叠型压电致动器1001的位移受阻碍。

尤其在层叠型压电致动器1001是利用了弯曲模式的压电致动器的情况下，若第1、第2端面侧的不活泼部变大，则层叠型压电致动器1001的位移受到较大阻碍。

另外，在使第1、第2内部电极1003、1004的长度变长的情况下，如图16所示，在层叠方向上俯视时，最下部的第1内部电极1003的顶端侧部分有可能隔着最下层的陶瓷层与卷绕部1006b重叠。

本发明的目的在于提供一种层叠型压电致动器和具备该层叠型压电致动器的压电振动装置，即使将最外层的陶瓷层设为不活泼层，通过使该不活泼层的厚度变薄从而提高了位移量，也难以产生陶瓷烧结体中的破坏。

-用于解决课题的手段-