[发明专利]等离子体增强化学气相沉积系统中的压差控制

摘要

描述了一种用于制造薄膜的方法和装置，其中，在沉积系统中包括用于容纳至少一个衬底的内部非气密壳、完全围绕所述壳的外部气密室、工作上连接到内部非气密壳与外部气密室二者的排气口，所述内部室被保持压力低于所述外部壳的内部的压力，特别地压差小于1mbar。该装置可以呈现布置在内部壳与排气口以及外部室与排气口之间的用于控制所述压差的两个蝶形阀。

主权项

一种用于在沉积系统中制造薄膜的方法，所述系统包括用于容纳至少一个衬底的内部非气密壳、完全围绕所述壳的外部气密室、工作上连接到内部非气密壳与外部气密室二者的排气口，所述排气口保持所述室的压力低于所述壳内的压力，其特征在于：在操作期间，在内部非气密壳和外部气密室之间建立小于1mbar的压差。