[发明专利]成膜装置

摘要

本发明提供一种成膜装置，该成膜装置具有原料气体放出部，该原料气体放出部利用与现有相比制作更容易的构造，将多个原料气体冷却并同时不混合地放出至基板上。原料气体放出部(20)由中空的放出容器(21)和多个配管(31a1~31a3、31b1~31b3)构成，该中空的放出容器(21)在容器壁设有多个放出孔(22)，该多个配管(31a1~31a3、31b1~31b3)配置在放出容器(21)的中空部分并在外周侧面设有贯通孔(32a1~32a3、32b1~32b3)，外周侧面的贯通孔(32a1~32a3、32b1~32b3)的外周部分紧贴在上述容器壁的内侧表面，贯通孔(32a1~32a3、32b1~32b3)与放出孔(22)连通。如果使冷媒循环于放出容器(21)的中空部分，则通过配管(31a1~31a3、31b1~31b3)的原料气体被冷却。

主权项

一种成膜装置，其特征在于，具有：真空槽；中空的放出容器，配置于所述真空槽内并设有多个放出孔；多个管状的导入部，配置于所述放出容器的中空部分；气体供给部，将原料气体供给至各所述导入部；以及基板保持部，将基板保持在与所述放出容器的所述放出孔相对的位置，各所述导入部的外周侧面紧贴在所述放出容器的面向所述中空部分的壁面，在各所述导入部的所述紧贴的部分，设有使所述导入部的内部空间和所述放出孔连通的贯通孔。