[发明专利]微机械陀螺仪的正交和共振频率的解耦控制方法有效
申请号: | 201180024349.3 | 申请日: | 2011-03-17 |
公开(公告)号: | CN102893128A | 公开(公告)日: | 2013-01-23 |
发明(设计)人: | M·埃格雷兹博格;A·库吉;F·迈尔 | 申请(专利权)人: | 大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司 |
主分类号: | G01C19/56 | 分类号: | G01C19/56 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 杨晓光;于静 |
地址: | 德国法*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: |
本发明涉及一种用于微机械旋转率传感器的准确测量操作的方法,所述传感器包括至少一个震动质量、用于以主要模式(q1)驱动震动质量的至少一个驱动设备、以及共同地与震动质量直接或间接地相关联的至少三个修整电极元件(1),其中在这些独立的修整电极元件(1)中的每一个与所述震动质量之间施加电修整电压(u1,u2,u3,u4)。根据共振频率操纵变量 |
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搜索关键词: | 微机 陀螺仪 正交 共振频率 控制 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于微机械旋转率传感器的准确测量操作的方法,所述传感器包括至少一个震动质量、用于以主要模式(q1)驱动所述震动质量的至少一个驱动设备、以及共同地与所述震动质量直接或间接地相关联的至少三个修整电极元件(1),其中,在这些独立的修整电极元件(1)中的每一个与所述震动质量之间施加电修整电压(u1,u2,u3,u4),其特征在于:根据共振频率操纵变量
正交操纵变量
和重置变量
来设置这些电修整电压(u1,u2,u3,u4)中的每一个。
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