[发明专利]微机械陀螺仪的正交和共振频率的解耦控制方法有效
| 申请号： | 201180024349.3 | 申请日： | 2011-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN102893128A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | M·埃格雷兹博格;A·库吉;F·迈尔 | 申请（专利权）人： | 大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 杨晓光;于静 |
| 地址： | 德国法*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 陀螺仪 正交 共振频率 控制 方法 | ||
1.一种用于微机械旋转率传感器的准确测量操作的方法，所述传感器包括至少一个震动质量、用于以主要模式(q1)驱动所述震动质量的至少一个驱动设备、以及共同地与所述震动质量直接或间接地相关联的至少三个修整电极元件(1)，其中，在这些独立的修整电极元件(1)中的每一个与所述震动质量之间施加电修整电压(u1,u2,u3,u4)，其特征在于：
根据共振频率操纵变量正交操纵变量和重置变量来设置这些电修整电压(u1,u2,u3,u4)中的每一个。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述旋转率传感器(1)包括至少四个修整电极元件(1)，其共同地直接或间接关联于所述震动质量(2)，其中，在第一修整电极元件和所述震动质量之间施加第一电修整电压，在第二修整电极元件和所述震动质量之间施加第二电修整电压，在第三修整电极元件和所述震动质量之间施加第三电修整电压，以及在第四修整电极元件和所述震动质量之间施加第四电修整电压，其中所述第一修整电压u1、所述第二修整电压u2、所述第三修整电压u3以及所述第四修整电压u4每个都实质上利用共振频率操纵变量正交操纵变量和重置变量而被设置：
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