[发明专利]研磨垫及其制造方法以及玻璃基板的制造方法有效
| 申请号： | 201180022832.8 | 申请日： | 2011-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN102883857A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 佐藤彰则;石坂信吉 | 申请（专利权）人： | 东洋橡胶工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 金龙河;穆德骏 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的在于提供能够通过使粗研磨后的研磨对象物的端部形状成为羽状而使精研磨后的研磨对象物包括端部在内平坦的研磨垫以及使用该研磨垫的玻璃基板半导体的制造方法。为了实现该目的，对具有由热固性聚氨酯发泡体构成的研磨层的研磨垫进行调节，以使热固性聚氨酯发泡体在水中浸渍24小时后的阿斯卡C硬度值以60秒值计为82以下，并且使频率为1.6Hz时的拉伸储能模量E’(30℃)的值满足下述式(1)：Y＜5X-150(1)(式(1)中，Y为拉伸储能模量E’(MPa)，X为在水中浸渍24小时后的阿斯卡C硬度值(60秒值))。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 及其 制造 方法 以及 玻璃 | ||
【主权项】：
一种研磨垫，具有由热固性聚氨酯发泡体构成的研磨层，所述研磨垫的特征在于，所述热固性聚氨酯发泡体在水中浸渍24小时后的阿斯卡C硬度值以60秒值计为82以下，并且频率为1.6Hz时的拉伸储能模量E’(30℃)的值满足下述式(1)：Y＜5X‑150 (1)(式(1)中，Y为拉伸储能模量E’(MPa)，X为在水中浸渍24小时后的阿斯卡C硬度值(60秒值))。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东洋橡胶工业株式会社，未经东洋橡胶工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180022832.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
