[发明专利]研磨垫及其制造方法以及玻璃基板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201180022832.8 申请日: 2011-03-22
公开(公告)号: CN102883857A 公开(公告)日: 2013-01-16
发明(设计)人: 佐藤彰则;石坂信吉 申请(专利权)人: 东洋橡胶工业株式会社
主分类号: B24B37/24 分类号: B24B37/24;B24B37/00
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 金龙河;穆德骏
地址: 日本大阪*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 研磨 及其 制造 方法 以及 玻璃
【权利要求书】:

1.一种研磨垫,具有由热固性聚氨酯发泡体构成的研磨层,所述研磨垫的特征在于,

所述热固性聚氨酯发泡体在水中浸渍24小时后的阿斯卡C硬度值以60秒值计为82以下,并且频率为1.6Hz时的拉伸储能模量E’(30℃)的值满足下述式(1):

Y<5X-150  (1)

(式(1)中,Y为拉伸储能模量E’(MPa),X为在水中浸渍24小时后的阿斯卡C硬度值(60秒值))。

2.如权利要求1所述的研磨垫,其中,所述热固性聚氨酯发泡体含有含活性氢的化合物和异氰酸酯成分作为原料成分,所述含活性氢的化合物含有5~20重量%的官能团数为2且羟值为1100~1400mgKOH/g的多元醇化合物以及10~40重量%的官能团数为3且羟值为200~600mgKOH的多元醇化合物。

3.如权利要求1所述的研磨垫,其中,所述热固性聚氨酯发泡体在水中浸渍24小时后的阿斯卡C硬度值以60秒值计为75以下。

4.如权利要求1所述的研磨垫,其中,频率为1.6Hz时的拉伸储能模量E’(30℃)的值为100MPa以下。

5.如权利要求1所述的研磨垫,其中,所述热固性聚氨酯发泡体具有平均气泡直径为20~300μm的近似球形的连续气泡。

6.一种玻璃基板的制造方法,其包括通过使用权利要求1所述的研磨垫对玻璃基板的表面进行研磨的工序。

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