[发明专利]用于等离子处理设备的齐平安装紧固件

摘要

一种用于等离子室的部件的紧固件组件。该紧固件组件包括具有工具接合插口的螺栓和安装在所述螺栓的通孔中的弹簧承载销。当安装时，所述弹簧承载销基本上填满所述插口中的空间，从而能防止所述销和螺栓的相对的表面之间的空间内形成寄生等离子。当例如内六角扳手等工具被插入到所述插口中时，所述弹簧承载销缩回并且所述工具旋转所述螺栓以通过将所述螺栓的螺纹与所述下部件内的螺纹孔啮合而将上部件连接到下部件。

主权项

一种用在等离子处理室中的紧固件组件，当被用于连接所述等离子室内的部件时，该紧固件组件能够避免寄生等离子的形成，该紧固件组件包括：螺栓，其具有带有轴向延伸的中心通孔的管状体、带有螺纹的外表面以及位于所述通孔的顶部的工具接合插口，该插口被配置成在该螺栓插入螺纹孔期间与被用于旋转该螺栓的工具接合；销，其具有长度大于所述通孔的长度的杆，该销可从低位置移动到高位置，在所述低位置，所述通孔的上部部分没有被填满，在所述高位置，所述销的顶部表面与所述螺栓的顶部表面齐平；弹簧，其将所述销偏置在所述高位置。