[实用新型]一种具有多层抗反射膜的晶体硅太阳能电池

摘要

本实用新型公开了一种具有多层抗反射膜的晶体硅太阳能电池，包括硅基片、复合在硅基片表面上的扩散层、复合在扩散层上的抗反射层及电极，所述抗反射层由第一氮化硅膜、第二氮化硅膜及氧化硅膜在所述扩散层上从下至上依次复合构成。本实用新型可实现对太阳光能的选择性吸收，减少太阳光的散射损失；并在三层抗薄膜中可实现量子激发效应，提高能量收集效率，增加短波响应；凭借接口吸收系数的变化，增加了表面钝化以及表面抗反射效果，进而提高了电流收集效率，大大延长了少子寿命；本实用新型的制作工艺简单、生产效率高且生产成本较低，适用于工业化大规模生产。

主权项

一种具有多层抗反射膜的晶体硅太阳能电池，包括硅基片、复合在硅基片表面上的扩散层、复合在扩散层上的抗反射层及电极，其特征在于：所述抗反射层由第一氮化硅膜、第二氮化硅膜及氧化硅膜在所述扩散层上从下至上依次复合构成。