[实用新型]氧化锌薄膜沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种氧化锌薄膜沉积设备，其包含水蒸发器，DEZ蒸发器和反应腔；所述水蒸发器通过水蒸气输气管道与所述反应腔连接；所述DEZ蒸发器通过DEZ输气管道与所述反应腔连接；所述ZnO薄膜沉积设备还包含分别设置在水蒸气输气管道和DEZ输气管道外部的温控装置，所述温控装置用于将所述水蒸气输气管道内的水蒸气温度控制在大于等于30ºC且小于等于50ºC之间，以及将所述DEZ输气管道内的DEZ气体温度控制在大于等于30ºC且小于等于45ºC之间。本实用新型所提供的ZnO薄膜沉积设备，在水蒸气和DEZ气体的传输过程中，可有效降低气体损耗，提高ZnO薄膜的沉积速率。

主权项

一种氧化锌薄膜沉积设备，其包含水蒸发器（1），DEZ蒸发器（2）和反应腔（4）；所述水蒸发器（1）通过水蒸气输气管道（31）与所述反应腔（4）连接；所述DEZ蒸发器（2）通过DEZ输气管道（32）与所述反应腔（4）连接；其特征在于，所述ZnO薄膜沉积设备还包含分别设置在水蒸气输气管道（31）和DEZ输气管道（32）外部的温控装置（6），所述温控装置（6）用于将所述水蒸气输气管道（31）内的水蒸气温度控制在大于等于30ºC且小于等于50ºC之间，以及将所述DEZ输气管道（32）内的DEZ气体温度控制在大于等于30ºC且小于等于45ºC之间。