[实用新型]真空镀膜机转动机构有效
| 申请号： | 201120265785.7 | 申请日： | 2011-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN202181340U | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 黄水祥 | 申请（专利权）人： | 御林汽配（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215325 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种真空镀膜机转动机构，包括旋转支架和驱动该旋转支架旋转的马达，该旋转支架位于真空腔室内，该真空腔室由底座和安装于该底座的穹顶罩组成，该旋转支架包括可固定镀膜工件的上托架以及下环，该上托架中部固定于该穹顶罩顶部转动轴上，该上托架环周与该下环之间通过多个并行的直立杆连接固定，对应该下环的内边缘，该底座设有多个便于该下环转动的滚轮，该马达驱动紧配于该下环内边缘的驱动滚轮连带该下环转动，该上托架由上内环、上外环和多个辐条组成，该上内环固定于该穹顶罩顶部转动轴上，该多个辐条两端分别连接该上内环和上外环，并呈辐射状分布，该上外环与该下环之间通过多个并行的该直立杆连接固定。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 转动 机构 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机转动机构，包括旋转支架和驱动该旋转支架旋转的马达(22)，该旋转支架位于真空腔室内，该真空腔室由底座(1)和安装于该底座的穹顶罩(2)组成，其特征在于：其中：1)该旋转支架包括可固定镀膜工件的上托架以及下环(5)，该上托架中部固定于该穹顶罩(2)顶部转动轴(28)上，该上托架环周与该下环之间通过多个并行的直立杆(6)连接固定，对应该下环的内边缘，该底座设有多个便于该下环(5)转动的滚轮(4)；2)该马达(22)驱动紧配于该下环(5)内边缘的驱动滚轮(21)连带该下环(5)转动。
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