[实用新型]一种三氯氢硅合成炉冷却系统及三氯氢硅合成炉有效
| 申请号： | 201120169364.4 | 申请日： | 2011-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN202054615U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王小伟;张滨泉;李峰;杨光军;胡永;侯俊峰 | 申请（专利权）人： | 国电宁夏太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 753202 宁夏*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种三氯氢硅合成炉冷却系统，包括：冷却水进水管，上方具有开口的出蒸汽管，充有惰性气体的惰性气体套管和压力感应装置；所述冷却水进水管的管体位于所述出蒸汽管内部；所述冷却水进水管的进水口从所述出蒸汽管的侧壁伸出；惰性气体套管套在所述出蒸汽管的外部；所述惰性气体套管的外壁上设置有进气口和所述压力感应装置。本实用新型还公开了一种三氯氢硅合成炉。采用本实用新型所公开的三氯氢硅合成炉冷却系统及三氯氢硅合成炉，能够防止出蒸汽管被磨穿，并且在惰性气体套管被磨穿等情况下，能够通过观察压力感应装置的读数及时发现，提高三氯氢硅合成炉设备的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 合成 冷却系统 | ||
【主权项】：
一种三氯氢硅合成炉冷却系统，其特征在于，包括：冷却水进水管，上方具有开口的出蒸汽管，充有惰性气体的惰性气体套管和压力感应装置；所述冷却水进水管的管体位于所述出蒸汽管内部；所述冷却水进水管的进水口从所述出蒸汽管的侧壁伸出；惰性气体套管套在所述出蒸汽管的外部；所述惰性气体套管的外壁上设置有惰性气体进气口和所述压力感应装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国电宁夏太阳能有限公司，未经国电宁夏太阳能有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120169364.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：粉盐回收装置
- 下一篇：一种高空作业平台护栏
