[实用新型]晶圆测试机构及其探针结合座

摘要

本实用新型是有关于一种晶圆测试机构，其包含一载台、多个基座、多个探针结合座以及多个探针，上述基座设置于该载台的上表面，上述探针结合座包含：一第一结合块、一调整板、一第二结合块、一可导电的探针结合块及一轴杆，该第一结合块具有一第一表面及一第二表面，上述基座结合于该第一表面，该调整板具有一外表面及一内表面，该调整板设置于该第二表面，该第二结合块设置于该外表面，该第二结合块具有一第一结合部、一悬臂及一第一结合孔，该可导电探针结合块具有一第二结合部、一探针夹设部及一第二结合孔，该第二结合部可活动地枢接于该悬臂，该探针夹设部具有一夹针槽，该轴杆穿设于该第一结合孔及该第二结合孔，该探针设置于该夹针槽。

主权项

一种晶圆测试机构，其特征在于至少包含：一载台，其具有一上表面、一下表面及一贯穿该上表面与该下表面的通孔；多个基座，其设置于该载台的该上表面；多个探针结合座，各上述探针结合座包含：一第一结合块，其具有一第一表面、一第二表面、二第一侧面及多个高度调整孔，上述基座结合于该第一表面，上述高度调整孔贯穿该第一表面及该第二表面；一调整板，其具有一外表面、一内表面、二第二侧面及多个贯穿该外表面与该内表面的结合槽，该调整板的该内表面朝向该第一结合块的该第二表面且该调整板设置于该第二表面并容设于该载台的该通孔，上述结合槽对应于上述高度调整孔；一第二结合块，其设置于该调整板的该外表面，该第二结合块具有一第一结合部、一连接该第一结合部的悬臂及一位于该悬臂的第一结合孔；一可导电的探针结合块，其具有一第二结合部、一探针夹设部及一位于该第二结合部的第二结合孔，该第二结合部可活动地枢接于该第二结合块的该悬臂，且该第二结合孔连通该第一结合孔，该探针夹设部具有一夹针槽；多个高度定位组件，各该高度定位组件具有一第一高度定位组件及一第二高度定位组件，该第一高度定位组件穿设于上述结合槽及上述高度调整孔，该第二高度定位组件穿设于该结合槽且该第二高度定位组件结合于该第一高度定位组件；及一轴杆，其穿设于该第一结合孔及该第二结合孔；以及多个探针，其设置于该探针夹设部的该夹针槽。