[实用新型]晶圆测试机构及其探针结合座

权利要求书

1.一种晶圆测试机构，其特征在于至少包含：

一载台，其具有一上表面、一下表面及一贯穿该上表面与该下表面的通孔；

多个基座，其设置于该载台的该上表面；

多个探针结合座，各上述探针结合座包含：

一第一结合块，其具有一第一表面、一第二表面、二第一侧面及多个高度调整孔，上述基座结合于该第一表面，上述高度调整孔贯穿该第一表面及该第二表面；

一调整板，其具有一外表面、一内表面、二第二侧面及多个贯穿该外表面与该内表面的结合槽，该调整板的该内表面朝向该第一结合块的该第二表面且该调整板设置于该第二表面并容设于该载台的该通孔，上述结合槽对应于上述高度调整孔；

一第二结合块，其设置于该调整板的该外表面，该第二结合块具有一第一结合部、一连接该第一结合部的悬臂及一位于该悬臂的第一结合孔；

一可导电的探针结合块，其具有一第二结合部、一探针夹设部及一位于该第二结合部的第二结合孔，该第二结合部可活动地枢接于该第二结合块的该悬臂，且该第二结合孔连通该第一结合孔，该探针夹设部具有一夹针槽；

多个高度定位组件，各该高度定位组件具有一第一高度定位组件及一第二高度定位组件，该第一高度定位组件穿设于上述结合槽及上述高度调整孔，该第二高度定位组件穿设于该结合槽且该第二高度定位组件结合于该第一高度定位组件；及

一轴杆，其穿设于该第一结合孔及该第二结合孔；以及

多个探针，其设置于该探针夹设部的该夹针槽。

2.如权利要求1所述的晶圆测试机构，其特征在于各该探针结合座另包含有二支撑组件，各该支撑组件具有一第一支撑件、一第二支撑件及一弹性组件，该第一支撑件设置于该第一侧面，该第二支撑件设置于该第二侧面，该弹性组件连接该第一支撑件及该第二支撑件。

3.如权利要求1所述的晶圆测试机构，其特征在于该第一结合块另具有一凹设于该第二表面的滑槽，该调整板另具有一凸设于该内表面的凸肋，该凸肋可移动地容设于该滑槽内。

4.如权利要求1所述的晶圆测试机构，其特征在于该调整板具有一凹设于该外表面的第一导线槽，该第二结合块具有一第二导线槽，该第一导线槽连通该第二导线槽。

5.如权利要求4所述的晶圆测试机构，其特征在于该调整板另具有二第一限位件，上述第一限位件设置于该调整板的该外表面且邻近该第一导线槽。

6.如权利要求3所述的晶圆测试机构，其特征在于各该探针结合座另包含有二第一固定件，该第一结合块另具有二凹设于该滑槽的第一固定孔，上述基座具有二第二固定孔，上述第一固定件穿设于上述第一固定孔及上述第二固定孔。

7.如权利要求1所述的晶圆测试机构，其特征在于各该探针结合座系另包含有二第二固定件，该调整板另具有二贯穿该内表面及该外表面的第一固接孔，该第二结合块另具有二连接该第一结合部的侧翼及二贯穿该侧翼的第二固接孔，上述第二固定件穿设于上述第一固接孔及上述第二固接孔。

8.如权利要求4所述的晶圆测试机构，其特征在于该第二结合块另具有一第二限位件，该第二限位件设置于该第二结合块的该第一结合部且邻近于该第二导线槽。

9.如权利要求1所述的晶圆测试机构，其特征在于该调整板另具有一环状凸起，该结合槽内具有一内侧壁，该环状凸起位于该结合槽的该内侧壁且该第一高度定位组件抵接于该环状凸起。

10.一种探针结合座，其特征在于包含：

一第一结合块，其具有一第一表面、一第二表面、二第一侧面及多个高度调整孔，上述基座结合于该第一表面，上述高度调整孔贯穿该第一表面及该第二表面；

一调整板，其具有一外表面、一内表面、二第二侧面及多个贯穿该外表面与该内表面的结合槽，该调整板的该内表面朝向该第一结合块的该第二表面且该调整板设置于该第二表面并容设于该载台的该通孔，上述结合槽对应于上述高度调整孔；

一第二结合块，其设置于该调整板的该外表面，该第二结合块具有一第一结合部、一连接该第一结合部的悬臂及一位于该悬臂的第一结合孔；

一可导电的探针结合块，其具有一第二结合部、一探针夹设部及一位于该第二结合部的第二结合孔，该第二结合部可活动地枢接于该第二结合块的该悬臂，且该第二结合孔连通该第一结合孔，该探针夹设部具有一夹针槽；

多个高度定位组件，各该高度定位组件具有一第一高度定位组件及一第二高度定位组件，该第一高度定位组件穿设于上述结合槽及上述高度调整孔，该第二高度定位组件穿设于该结合槽且该第二高度定位组件结合于该第一高度定位组件；以及

一轴杆，其穿设于该第一结合孔及该第二结合孔。