[实用新型]晶圆测试机构及其探针结合座

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种晶圆测试机构，特别是有关于一种操作简便的晶圆测试机构。

背景技术

现有习知晶圆电性测试采用探针卡(Probe Card)进行电性测试，但由于探针卡针对单一晶圆产品进行线路设计且探针卡上具有多个探针，因此不同的晶圆必须更换不同的探针卡，且使用前必须先训练操作人员如何操作及维修，若探针卡上的单一探针损坏时，更换单一探针的过程复杂甚至必须更换整个探针卡，因此探针卡具有单一性高且制作成本高的缺点，进而使得生产时间及生产成本提高。

由此可见，上述现有的晶圆电性测试在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。因此如何能创设一种新型结构的晶圆测试机构及其探针结合座，亦成为当前业界极需改进的目标。

有鉴于上述现有的晶圆电性测试存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的晶圆测试机构及其探针结合座，能够改进一般现有的晶圆电性测试，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本实用新型。

发明内容

本实用新型的目的在于，克服现有的晶圆电性测试存在的缺陷，而提供一种新型结构的晶圆测试机构及其探针结合座，所要解决的技术问题是使其该晶圆测试机构可随不同的晶圆简易变换量测位置而不需另外购置新的探针卡，且上述探针结合座的操作便利，此外，若该探针损坏，仅置换损坏的该探针即可，不需更换整组上述探针结合座，因此具有维修方便、使用寿命长及节省成本的功效。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种晶圆测试机构，其中包含：一载台，其具有一上表面、一下表面及一贯穿该上表面与该下表面的通孔；多个基座，其设置于该载台的该上表面；多个探针结合座，各上述探针结合座包含：一第一结合块，其具有一第一表面、一第二表面、二第一侧面及多个高度调整孔，上述基座结合于该第一表面，上述高度调整孔贯穿该第一表面及该第二表面；一调整板，其具有一外表面、一内表面、二第二侧面及多个贯穿该外表面与该内表面的结合槽，该调整板的该内表面朝向该第一结合块的该第二表面且该调整板设置于该第二表面并容设于该载台的该通孔，上述结合槽对应于上述高度调整孔；一第二结合块，其设置于该调整板的该外表面，该第二结合块具有一第一结合部、一连接该第一结合部的悬臂及一位于该悬臂的第一结合孔；一可导电的探针结合块，其具有一第二结合部、一探针夹设部及一位于该第二结合部的第二结合孔，该第二结合部可活动地枢接于该第二结合块的该悬臂，且该第二结合孔连通该第一结合孔，该探针夹设部具有一夹针槽；多个高度定位组件，各该高度定位组件具有一第一高度定位组件及一第二高度定位组件，该第一高度定位组件穿设于上述结合槽及上述高度调整孔，该第二高度定位组件穿设于该结合槽且该第二高度定位组件结合于该第一高度定位组件；及一轴杆，其穿设于该第一结合孔及该第二结合孔；以及多个探针，其设置于该探针夹设部的该夹针槽。

本实用新型的目的以及解决其技术问题还可以采用以下的技术措施来进一步实现。

前述的晶圆测试机构，其中所述的各该探针结合座另包含有二支撑组件，各该支撑组件具有一第一支撑件、一第二支撑件及一弹性组件，该第一支撑件设置于该第一侧面，该第二支撑件设置于该第二侧面，该弹性组件连接该第一支撑件及该第二支撑件。

前述的晶圆测试机构，其中所述的该第一结合块另具有一凹设于该第二表面的滑槽，该调整板另具有一凸设于该内表面的凸肋，该凸肋可移动地容设于该滑槽内。

前述的晶圆测试机构，其中所述的该调整板具有一凹设于该外表面的第一导线槽，该第二结合块具有一第二导线槽，该第一导线槽连通该第二导线槽。

前述的晶圆测试机构，其中所述的该调整板另具有二第一限位件，上述第一限位件设置于该调整板的该外表面且邻近该第一导线槽。

前述的晶圆测试机构，其中所述的各该探针结合座另包含有二第一固定件，该第一结合块另具有二凹设于该滑槽的第一固定孔，上述基座具有二第二固定孔，上述第一固定件穿设于上述第一固定孔及上述第二固定孔。

前述的晶圆测试机构，其中所述的各该探针结合座系另包含有二第二固定件，该调整板另具有二贯穿该内表面及该外表面的第一固接孔，该第二结合块另具有二连接该第一结合部的侧翼及二贯穿该侧翼的第二固接孔，上述第二固定件穿设于上述第一固接孔及上述第二固接孔。