[发明专利]一种铝钼蚀刻液及其制备方法有效
| 申请号： | 201110461737.X | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102534619A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 殷福华;季文庆;朱龙;邵勇;栾成 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20;C23F1/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214423 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝钼蚀刻液及其制备方法，所述铝钼蚀刻液包括以下重量百分比的组合物：磷酸60％～80％；硝酸1％～10％；醋酸钠1％～10％；聚氧乙烯烷基苯基醚0.1％～0.5％；水10％～30％。本发明提供的铝钼蚀刻液及其制备方法，通过在铝钼蚀刻液中引入的醋酸钠起到了缓冲剂的作用，使刻蚀速度得到控制，从而达到控制住刻蚀角度的要求，能满足不同客户对刻蚀角度的要求；加入非离子型界面活性剂聚氧乙烯烷基苯基醚，使产品对金属层的渗透性提高，从而达到控制刻蚀量的要求，能满足不同客户对刻蚀量的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铝钼蚀刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：磷酸 60％～80％；硝酸 1％～10％；醋酸钠 1％～10％；聚氧乙烯烷基苯基醚 0.1％～0.5％；水 10％～30％。
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