[发明专利]一种铝钼蚀刻液及其制备方法

权利要求书

1.一种铝钼蚀刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：

磷酸                    60％～80％；

硝酸                    1％～10％；

醋酸钠                  1％～10％；

聚氧乙烯烷基苯基醚      0.1％～0.5％；

水                      10％～30％。

2.如权利要求1所述的铝钼蚀刻液，其特征在于，所述磷酸的浓度为85％～86％(重量百分比)。

3.如权利要求1所述的铝钼蚀刻液，其特征在于，所述硝酸的浓度为69％～71％(重量百分比)。

4.如权利要求1所述的铝钼蚀刻液，其特征在于，所述醋酸钠的纯度大于99％(重量百分比)。

5.如权利要求1所述的铝钼蚀刻液，其特征在于，所述聚氧乙烯烷基醚的浓度大于99％(重量百分比)。

6.一种如权利要求1所述的铝钼蚀刻液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

先称取一定量的磷酸，在搅拌下加入硝酸，充分搅拌均匀；

然后加入醋酸钠，循环搅拌1～2小时；

接着加入非离子型表面活性剂聚氧乙烯烷基醚和水，其中，磷酸的重量百分含量为60％～80％，硝酸的重量百分含量为1％～10％；醋酸钠的重量百分含量为1％～10％，聚氧乙烯烷基苯基醚的重量百分含量为0.1％～0.5％，水的重量百分含量为10％～30％；再循环搅拌1～2小时；

最后将制得的混合物先经0.5μm的过滤器循环过滤，再经0.2μm的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0.2μm的有害粒子，即得铝钼蚀刻液。