[发明专利]一种低温型水系正胶剥离液及其制备方法无效
| 申请号： | 201110461736.5 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102566333A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 殷福华;季文庆;朱龙;邵勇;栾成 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214423 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低温型水系正胶剥离液及其制备方法，所述低温型水系正胶剥离液包括以下重量百分比的组合物：N-甲基吡咯烷酮29％～31％；二甲基乙酰胺23.7％～27.7％；二乙二醇丁醚24％～26％；水17％～23％。本发明提供的低温型水系正胶剥离液及其制备方法，能够提高产品的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 水系 剥离 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种低温型水系正胶剥离液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：N‑甲基吡咯烷酮 29％～31％；二甲基乙酰胺 23.7％～27.7％；二乙二醇丁醚 24％～26％；水 17％～23％。
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