[发明专利]一种低温型水系正胶剥离液及其制备方法无效
| 申请号： | 201110461736.5 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102566333A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 殷福华;季文庆;朱龙;邵勇;栾成 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214423 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 低温 水系 剥离 及其 制备 方法 | ||
1.一种低温型水系正胶剥离液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：
N-甲基吡咯烷酮 29％～31％；
二甲基乙酰胺 23.7％～27.7％；
二乙二醇丁醚 24％～26％；
水 17％～23％。
2.如权利要求1所述的低温型水系正胶剥离液，其特征在于，所述N-甲基吡咯烷酮的浓度大于99％(重量百分比)。
3.如权利要求1所述的低温型水系正胶剥离液，其特征在于，所述二甲基乙酰胺的浓度大于99％(重量百分比)。
4.如权利要求1所述的低温型水系正胶剥离液，其特征在于，所述二乙二醇丁醚的浓度大于99％(重量百分比)。
5.一种如权利要求1所述的低温型水系正胶剥离液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
先通过自动上料系统将一定量N-甲基吡咯烷酮和水加入到反应釜中，充分搅拌10～30分钟；
然后继续通过自动上料系统加入二甲基乙酰胺、二乙二醇丁醚和水，使得N-甲基吡咯烷酮的重量百分含量为29％～31％，二甲基乙酰胺的重量百分含量为23.7％～27.7％，二乙二醇丁醚的重量百分含量为24％～26％，水的重量百分含量为17％～23％时停止上料，搅拌10～30分钟；
最后开动隔膜泵，将制得的混合物先经过0.5um过滤器循环过滤2～3小时，再经0.2μm的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0.2μm的有害粒子，即得低温型水系正胶剥离液。
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