[发明专利]一种用于引出电极的滑动密封板装置在审
| 申请号： | 201110452428.6 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103187229A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 吴巧艳 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了离子注入系统中一种用于引出电极的滑动密封板装置，这种装置是一种能在束流引出时，由于四电机通过弹性联轴器带动丝杆运动从而间接带动导杆做空间移动的过程中，保证引出电极内部真空度要求的滑动密封板，该滑动密封板装置包含一族椭圆形的槽(共5条)，其中两侧及中间的三条槽用于安装O型密封圈，另外两条槽内侧各设置一个与直通卡套终端接头相连的通孔，用于在引出电极工作时接通差分抽气，可以可靠的保证其内部的真空度要求。说明书对该装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 引出 电极 滑动 密封 装置 | ||
【主权项】：
一种应用于离子注入系统中引出电极的滑动密封板装置，其特征在于：包含一族椭圆形的槽(共5条)，其中两侧及中间的三条槽用于安装O型密封圈，且均使用橡胶材质，可以使整个引出电极装置可靠密封。
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