[发明专利]一种用于引出电极的滑动密封板装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体制造装备离子注入机中引出电极的滑动密封板装置，其直接针对于以往引出电极工作时由于导杆的空间移动而造成的对其内部真空度的影响，能可靠保证引出电极内部真空度的要求，为多方面具有一定真空度要求的应用提供了方便。

技术背景

离子注入机是半导体工艺中离子掺杂的典型设备，离子源产生需要掺杂的离子束，离子束再经过质量分析、校正、加速，传输到处于靶室终端工艺腔体的硅片表面。

1.在晶片的离子注入工艺中，束流的稳定性及其纯度要求愈来愈高。而这种要求直接影响半导体领域整体的注入质量，主要体现在以下几个方面：

2.在束流的注入中，离子剂量均匀的注入到晶片上。注入束流的不稳定性会引起注入的失败。

3.对于注入工艺，低能量大速流的离子注入机是发展的方向，束流的均匀性要求也越来越高。

4.在离子注入中，要求束流均匀性的同时，也要求加强束流的控制力，阻隔杂质离子，从而防止因能量污染引发的失败。

5.随着半导体集成电路制造工艺越来越微细化，对半导体制造设备的性能要求也就越来越高，此时要求具有较高的束流纯度，从而避免在设备工作时对部件造成的损伤。

发明内容

本发明公开了离子注入系统中一种用于引出电极的滑动密封板装置，其直接针对于以往引出电极工作时由于导杆的空间移动而造成的对其内部真空度的影响，能可靠保证引出电极内部真空度的要求。本发明通过以下方案实现：

1.一种应用于离子注入系统中引出电极的滑动密封板装置，包含一族椭圆形的槽(共5条)，其中两侧及中间的三条槽用于安装O型密封圈，且均使用橡胶材质，可以使整个引出电极装置可靠密封。

2.一种应用于离子注入系统中引出电极的滑动密封板装置，另外两条槽内侧各设置一个与直通卡套终端接头(1)相连的通孔，用于在引出电极工作时接通差分抽气，可以可靠的保证其内部的真空度要求。

此滑动密封板所呈现的优势体现在：

I.密封性能更好，并且可以实时满足引出电极内部的真空度要求；

II.结构简单，便于加工制造。

本发明解决了引出电极工作时其内部真空度不能满足要求的问题，实现了可靠保证引出电极工作时其内部真空度的要求。

附图说明

图1为引出电极的滑动密封板示意图

图2为引出电极的滑动密封板装配体

具体实施方式

本发明涉及一种半导体制造装备离子注入机中引出电极的滑动密封板装置，如图1所示，这种装置是一种能在束流引出时，由于四电机通过弹性联轴器带动丝杆运动从而间接带动导杆做空间移动的过程中，保证引出电极内部真空度要求的滑动密封板，该滑动密封板装置包含一族椭圆形的槽(共5条)，其中两侧及中间的三条槽用于安装O型密封圈，且均使用橡胶材质，可以使整个引出电极装置可靠密封。另外两条槽内侧各设置一个与直通卡套终端接头(1)相连的通孔，用于在引出电极工作时接通差分抽气，可以可靠的保证其内部的真空度要求。

如图2所示，为引出电极的滑动密封板装配体：左右两端各包含一个横向安装导轨，各通过三个螺钉固定；包含含有通孔的上下两个固定块，其中上侧的固定块(2)通过四个螺钉安装固定带减速箱的直流无刷小电机，下侧固定块(3)的通孔内侧安装深沟球轴承，其内侧端部安装有轴承隔套，并与锁紧螺母一起固定丝杆。其中直流无刷小电机的轴通过上侧固定块(2)与下侧固定块(3)之间安装的弹性联轴器与丝杆相连，从而带动丝杆稳定平滑的运动；包含一个安装导杆的固定装置(4)，其内侧安装直线滚动轴承，端部内侧安装弹性挡圈，使导杆在丝杆的作用下稳定平滑运动，最终获得最佳的引出电场及最佳的引出束流；安装导杆的固定装置(4)左侧设置两个螺纹孔，用于安装X向电位器安装板，而正前方下侧的两个螺纹孔用于安装固定块，可连接水冷连接块等。

本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。