[发明专利]一种用于引出电极的滑动密封板装置

权利要求书

1.一种应用于离子注入系统中引出电极的滑动密封板装置，其特征在于：包含一族椭圆形的槽(共5条)，其中两侧及中间的三条槽用于安装O型密封圈，且均使用橡胶材质，可以使整个引出电极装置可靠密封。

2.如权利要求1所述的引出电极的滑动密封板装置，其特征在于：另外两条槽内侧各设置一个与直通卡套终端接头(1)相连的通孔，用于在引出电极工作时接通差分抽气，可以可靠的保证其内部的真空度要求。

3.一种应用于离子注入系统中引出电极的滑动密封板装置，其特征在于：包含含有通孔的上下两个固定块，其中上侧的固定块(2)通过四个螺钉安装固定带减速箱的直流无刷小电机，下侧固定块(3)的通孔内侧安装深沟球轴承，使丝杆稳定平滑运动。

4.一种应用于离子注入系统中引出电极的滑动密封板装置，其特征在于：包含安装导杆的固定装置(4)，其通孔内侧安装直线滚动轴承，使导杆在丝杆的作用下稳定平滑运动，最终获得最佳的引出电场及最佳的引出束流。