[发明专利]背板的制作方法有效
| 申请号： | 201110452048.2 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102534518A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;周园 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/08;C22F1/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种背板的制作方法，包括：提供背板铸件；在800℃～1000℃，对所述背板铸件进行锻打，形成背板坯料；对所述背板坯料进行处理，形成背板。本发明可以得到内部组织结构更加细化和更加均匀的背板，防止背板扭曲变形。一方面减小靶材各部分与硅片基底间的偏差，提高镀膜的质量，另一方面提高溅射靶材组件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 背板 制作方法 | ||
【主权项】：
一种背板的制作方法，其特征在于，包括：提供背板铸件；在800℃～1000℃，对所述背板铸件进行锻打，形成背板坯料；对所述背板坯料进行处理，形成背板。
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