[发明专利]抛光设备有效
| 申请号： | 201110447907.9 | 申请日： | 2005-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN102513920A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 锅谷治;户川哲二;福岛诚;安田穗积 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/07 | 分类号： | B24B37/07;B24B37/20;B24B37/34;B24B51/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈珊;刘兴鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 抛光设备(1)具有抛光垫(22)、用于夹持半导体晶片(W)的顶环(20)、可操作地沿垂直方向移动顶环(20)的垂直运动机构(24)、当顶环(20)的下表面接触抛光垫(22)时可操作地检测顶环(20)的距离测量传感器(46)、可操作地基于距离测量传感器(46)检测到的位置计算顶环(20)抛光半导体晶片(W)的最佳位置的控制器(47)。垂直运动机构(24)包括可操作地将顶环(20)移动到最佳位置的滚珠丝杆机构(30，32，38，42)。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 设备 | ||
【主权项】：
一种抛光设备，包括：具有抛光表面的抛光垫；设计成朝向所述抛光表面挤压衬底的顶环主体；设计成挤压所述抛光表面的卡环，所述卡环设置在所述顶环主体的周边部分处；设置在所述顶环主体下部处的弹性隔膜，所述弹性隔膜与至少一部分衬底接触；和盖住所述弹性隔膜和所述卡环之间的间隙的密封构件。
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