[发明专利]热处理的基板承载设备

摘要

本发明揭示了一种热处理的基板承载设备，包括水平设置的底壁；相互平行且间隔地设置在底壁上并与底壁垂直的至少两支撑壁，其两侧远离底壁的一端分别设置有垫片；分别设置在两相邻的支撑壁之间且与底壁连接的至少两凸出件，两相邻的支撑壁与凸出件之间分别具有第一及第二空间，分别供基板插置；及分别相对应第一及第二空间设置，用以分别将各基板夹固至第一及第二空间定位，之后即将各基板朝同一方向释放的两夹固件；其中，在两相邻的支撑壁间的基板其中的一以相对应的夹固件进行翻转使两基板的背面相对，且其正面分别面对邻近的支撑壁。

主权项

一种热处理的基板承载设备，其特征在于，包含：一底壁，呈水平地设置；至少两支撑壁，相互平行且相互间隔地设置在该底壁上，各该支撑壁与该底壁垂直，且各该支撑壁的两侧远离该底壁的一端处，分别设置有一垫片；至少两凸出件，分别地设置在两相邻的支撑壁之间，且与该底壁连接，两相邻的支撑壁与一凸出件之间分别具有一第一空间及一第二空间，该第一空间及该第二空间分别供一基板插置；以及两夹固件，分别相对应该第一空间及该第二空间设置，用以分别将各该基板夹固至该第一空间及该第二空间定位，定位后即将各该基板释放；其中，在两相邻的支撑壁之间的该两基板其中之一以相对应的该夹固件进行翻转使该两基板的背面相对，且其正面分别面对邻近的各该支撑壁。