[发明专利]产生多核心晶粒的光罩组修改

摘要

本发明涉及产生多核心晶粒的光罩组修改。第一光罩组被设计来制作晶粒，而所述的晶粒具有一限定数量的核心。本发明中第一光罩组被修改为一第二光罩组，以适用于制备至少相同数量的晶粒，但相较于之前，这些晶粒则具有至少两倍或是更多的核心数。另外，第一光罩组并定义切割道，以分开一原本所定义的晶粒。改良成第二光罩组时，至少有一切割道，会自一对邻近但原本不同的晶粒之间被移除。同时，定义内核通讯线，用以连接相邻的核心，藉此，使两相邻核心操作时可相互通讯。在晶粒之间并未连接任何实体输入/输出焊垫，因此核心之间的讯号不会传输至核心之外。本发明的内核通讯线可用以作电源管理，或用来做为外部处理器总线的分流道。

主权项

一种产生一光罩组的方法，以印刷多核心晶粒于一半导体晶圆上，该方法包括：开发一第一光罩组，以印刷Q‑核心晶粒，其中该第一光罩组定义多条切割道，以区分该些Q‑核心晶粒，其中，该切割道共同构成一密封环，以环绕于每一Q核心晶粒，其中，Q至少为1；修改该第一光罩组中的部分层数，以产生一第二光罩组，以印刷P‑核心晶粒，其中，该修改包括移除该第一光罩组中，至少一切割道，及定义内核通讯线，以连接至少两个相邻的核心，该二相邻核心原本将会被该已移除的切割道所分隔，其中，P至少为Q的两倍；其中，该内核通讯线配置时，使至少两个相连接的核心在操作时相互通讯；其中，该内核通讯线配置时，并不与P‑核心晶粒的实体输入/输出焊垫相连接，以使得一依据该修改光罩组所制造的P‑核心晶粒中，经由该内核通讯线传输的讯号不会传输至该P‑核心晶粒之外。