[发明专利]一种用于等离子体浸没注入中剂量检测方法有效
| 申请号： | 201110412670.0 | 申请日： | 2011-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN103165378A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李超波;汪明刚;屈芙蓉;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于等离子体浸没注入中剂量检测方法，属于半导体制造技术领域。所述方法包括：确定注入的离子种类、每种离子所带单位电荷数、每种离子占总离子数的比例以及所有注入离子的总电流密度；通过积分运算获得离子的注入剂量。本发明能够获得某一种离子的注入剂量，几种注入离子的注入剂量，所有离子注入剂量以及某一种元素的注入原子剂量；还能够获得某一种离子的注入剂量随注入时间的变化，几种注入离子的注入剂量随时间的变化，所有离子注入剂量随时间的变化以及某一种元素的注入原子剂量随时间的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 等离子体 浸没 注入 剂量 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种用于等离子体浸没注入中剂量检测方法，其特征在于，包括：步骤1，确定注入的离子种类、每种离子所带单位电荷数、每种离子占总离子数的比例以及所有注入离子的总电流密度；步骤2，通过积分运算获得离子的注入剂量。
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