[发明专利]一种适应多管PECVD的自动上下料装卸系统

摘要

本发明涉及一种适应多管PECVD的自动上下料装卸系统，属于自动上下料系统领域，针对传统的PECVD的工艺舟上下料都由人工完成导致生产场地的利用率降低，成本高，劳动强度大，工作环境恶劣，硅片易污染或碎片的问题，本发明包括推车，装在推车上用于在竖直方向运送工艺舟的龙门升降机，装在龙门升降机上用于在水平方向运送工艺舟的机械手，所述推车上装有锁紧或释放推车的推车驱动装置。本发明可以满足多管PECVD设备中工艺舟的全自动装卸，为实现太阳能电池片生产线的全自动化打下基础。

主权项

一种适应多管PECVD的自动上下料装卸系统，包括推车(1)，其特征是，还包括装在推车(1)上用于在竖直方向运送工艺舟(6)的龙门升降机(2)，装在龙门升降机(2)上用于在水平方向运送工艺舟(6)的机械手(5)，所述推车(1)上装有锁紧或释放推车(1)的推车驱动装置(4)。