[发明专利]一种适应多管PECVD的自动上下料装卸系统

权利要求书

1.一种适应多管PECVD的自动上下料装卸系统，包括推车(1)，其特征是，还包括装在推车(1)上用于在竖直方向运送工艺舟(6)的龙门升降机(2)，装在龙门升降机(2)上用于在水平方向运送工艺舟(6)的机械手(5)，所述推车(1)上装有锁紧或释放推车(1)的推车驱动装置(4)。

2.根据权利要求1所述的适应多管PECVD的自动上下料装卸系统，其特征是，所述龙门升降机(2)的结构为，包括两根竖直装在推车(1)上作为滑台的竖梁，该竖梁上装有带刹车装置的驱动电机。

3.根据权利要求1所述的适应多管PECVD的自动上下料装卸系统，其特征是，所述机械手(5)有两只，每根竖梁上装有一只机械手，通过同步轴相连的两只机械手由一个电机驱动。

4.根据权利要求2～3之一所述的适应多管PECVD的自动上下料装卸系统，其特征是，所述竖梁上装有临时储存工艺舟(6)的冷却储存架(3)。