[发明专利]一种电极改造方法、装置及用于刻蚀的机台无效
| 申请号： | 201110391992.1 | 申请日： | 2011-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN103137402A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 匡友停 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电极改造方法，用于提升机台保养效率，增加机台稳定性。所述方法包括：将用于刻蚀的机台的下电极表面置于电解液中，对所述下电极表面进行氧化；将氧化后的下电极安装在所述机台上。本发明还公开了用于实现所述方法的装置及一种用于刻蚀的机台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 改造 方法 装置 用于 刻蚀 机台 | ||
【主权项】：
一种电极改造方法，其特征在于，包括以下步骤：将用于刻蚀的机台的下电极表面置于电解液中，对所述下电极表面进行氧化；将氧化后的下电极安装在所述机台上。
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