[发明专利]用于射频工艺中的电感地屏蔽结构有效
| 申请号： | 201110385996.9 | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN102412230A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 蔡描;周天舒;黄景丰;李平梁 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于射频工艺中的电感地屏蔽结构，包括四根接地线，所述四根接地线呈十字状分布且其靠近的内部一端互不接触，每条接地线在其所在平面内引出多条阻挡线，所述阻挡线分别垂直于所在的接地线且互不相交。本发明的地屏蔽结构通过从地屏蔽图形的中心引出连接线接地，接地线的中心是断开的，减少了图形之间的电流干扰，同时，每条接地线引出多条阻挡线，每条接地线引出的阻挡线互相垂直，阻碍了衬底涡流的通路，减少了衬底涡流损耗对电感的影响，达到提高普通射频工艺中的电感品质因数的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 射频 工艺 中的 电感 屏蔽 结构 | ||
【主权项】：
一种用于射频工艺中的电感地屏蔽结构，其特征在于：包括四根接地线(1)，所述四根接地线(1)呈十字状分布且其靠近的内部一端互不接触，每条接地线(1)在其所在平面内引出多条阻挡线(2)，所述阻挡线(2)分别垂直于所在的接地线(1)且互不相交。
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