[发明专利]用于制备薄膜太阳能电池透明导电膜的设备及方法有效
| 申请号： | 201110377862.2 | 申请日： | 2011-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN102394210A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 刘志斌;李毅;宋光耀 | 申请（专利权）人： | 深圳市创益科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/34;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳市毅颖专利商标事务所 44233 | 代理人： | 张艺影 |
| 地址： | 518029 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造薄膜太阳能电池透明导电膜的设备及方法，属于薄膜太阳能电池技术领域。解决如何实现在低温沉积条件下制备具有高电导率的透明导电膜层。用于制造薄膜太阳能电池透明导电膜的设备，包括真空腔室、溅射靶、基片架、电源，溅射靶和基片架安装在真空腔室内，其特征是溅射靶和基片架之间设有阳极装置，该阳极装置的电位大于或等于基片架的电位。本发明克服了传统工艺和装置存在的膜层错位、有空穴等缺陷，使得膜层的电阻率降低到10-4Ω.cm数量级，实现了低温沉积高电导率的透明导电膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 薄膜 太阳能电池 透明 导电 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造薄膜太阳能电池透明导电膜的设备，包括真空腔室、溅射靶、基片架、电源，溅射靶和基片架安装在真空腔室内，其特征在于所述溅射靶和基片架之间设有阳极装置，该阳极装置的电位大于或等于基片架的电位。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市创益科技发展有限公司，未经深圳市创益科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110377862.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多位数字定时器
- 下一篇：有顶部开口外罩、内部温度调节装置的健身运动机
