[发明专利]扩散剂组合物及杂质扩散层的形成方法有效
| 申请号： | 201110365158.5 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN102468439A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 森田敏郎;神园乔 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | H01L51/00 | 分类号： | H01L51/00;H01L31/18;H01L21/225 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供扩散剂组合物，该扩散剂组合物含有缩合产物(A)和杂质扩散成分(B)。缩合产物(A)是水解烷氧基硅烷而得到的反应产物。杂质扩散成分(B)是磷酸单酯、磷酸二酯或它们的混合物。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 组合 杂质 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种扩散剂组合物，是向半导体基板印刷杂质扩散成分时使用的扩散剂组合物，其特征在于，含有以下述通式(1)表示的烷氧基硅烷为起始原料的缩合产物(A)、和杂质扩散成分(B)，杂质扩散成分(B)是下述通式(2)表示的磷酸酯(C)，![]()
式(1)中，R1、R2为有机基团，多个R1、R2可以相同也可以不同，m是0、1、或2，![]()
式(2)中，R3是烷基，n是1或2。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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