[发明专利]具有电绝缘结构的微机电系统装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201110359900.1 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN102530825A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 许郁文;林式庭;陈振颐;黄肇达 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有电绝缘结构的微机电系统(MEMS)装置，所述微机电系统装置包括至少一个移动件、至少一个支撑座、至少一个弹簧以及绝缘层。所述弹簧连接至所述支撑座和所述移动件。所述绝缘层设置在所述移动件和所述支撑座中。所述移动件和所述支撑座的每一个被所述绝缘层分为两个导电部分。由此，不同移动件的电信号通过未互相电连接的绝缘的电通路被传送。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 绝缘 结构 微机 系统 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电系统装置，包括：至少一个移动件；至少一个支撑座；至少一个弹簧，连接至所述至少一个支撑座和所述至少一个移动件；以及绝缘层，设置在所述至少一个移动件和所述至少一个支撑座中，其中所述至少一个移动件的每一个被所述绝缘层分为第一导电部分和第二导电部分，并且所述至少一个支撑座被所述绝缘层分为第一导电部分和第二导电部分。
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