[发明专利]具有电绝缘结构的微机电系统装置及其制造方法

权利要求书

1.一种微机电系统装置，包括：

至少一个移动件；

至少一个支撑座；

至少一个弹簧，连接至所述至少一个支撑座和所述至少一个移动件；以及

绝缘层，设置在所述至少一个移动件和所述至少一个支撑座中，其中所述至少一个移动件的每一个被所述绝缘层分为第一导电部分和第二导电部分，并且所述至少一个支撑座被所述绝缘层分为第一导电部分和第二导电部分。

2.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其中所述至少一个支撑座包括隔绝部分和至少一个导电通柱，所述隔绝部分设置在所述至少一个支撑座的第一导电部分中或设置在所述至少一个支撑座的第二导电部分中，这样所述至少一个支撑座的第一导电部分或所述至少一个支撑座的第二导电部分被所述隔绝部分分为所述至少一个支撑座的外导电部分和所述至少一个支撑座的内导电部分，所述至少一个导电通柱连接至所述至少一个支撑座的外导电部分，以及连接至未被所述隔绝部分分开的所述至少一个支撑座的第一导电部分或所述至少一个支撑座的第二导电部分。

3.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其中所述绝缘层还设置在至少一个弹簧中，从而所述至少一个弹簧被分成第一导电部分和第二导电部分。

4.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其中所述至少一个移动件还包括至少一个导电通柱，所述至少一个导电通柱连接至所述至少一个移动件的第一导电部分和所述至少一个移动件的第二导电部分。

5.一种微机电系统装置，包括：

基板，具有设置在所述基板的上表面上的多个金属粘合区；

至少一个移动件；

至少一个支撑座，固定在所述基板上；

至少一个弹簧；以及

绝缘层，设置在所述至少一个移动件、所述至少一个支撑座以及所述至少一个弹簧中，其中所述至少一个移动件被所述绝缘层分为第一导电部分和第二导电部分，所述至少一个支撑座被所述绝缘层分为第一导电部分和第二导电部分，以及所述至少一个弹簧被所述绝缘层分为第一导电部分和第二导电部分，

其中所述至少一个支撑座包括至少一个第一隔绝部分和至少一个导电通柱，所述至少一个支撑座的第二导电部分被所述至少一个第一隔绝部分分为外导电部分和内导电部分，所述至少一个导电通柱连接至所述至少一个支撑座的外导电部分和所述至少一个支撑座的第一导电部分，并且所述至少一个支撑座的外导电部分和所述至少一个支撑座的内导电部分分别固定在相互分隔的所述金属粘合区上；

其中所述至少一个弹簧的第一导电部分连接至所述至少一个支撑座的第一导电部分；

其中所述至少一个弹簧的第二导电部分连接至所述至少一个支撑座的内导电部分。

6.根据权利要求5所述的微机电系统装置，其中所述至少一个移动件包括第一移动件和第二移动件。

7.根据权利要求6所述的微机电系统装置，其中所述第一移动件具有至少一个第二隔绝部分，因此所述第一移动件的第二导电部分被所述至少一个第二隔绝部分分为外导电部分和内导电部分。

8.根据权利要求7所述的微机电系统装置，其中所述第一移动件的外导电部分通过所述至少一个弹簧的第二导电部分连接至所述第二移动件的第二导电部分，并且所述第一移动件的第一导电部分通过所述至少一个弹簧的第一导电部分连接至所述第二移动件的第一导电部分。

9.根据权利要求6所述的微机电装置，其中所述第二移动件具有至少一个第二隔绝部分，并且所述第二移动件的第二导电部分被所述至少一个第二隔绝部分分为外导电部分和内导电部分。

10.根据权利要求9所述的微机电系统装置，其中所述第二移动件的内导电部分通过所述至少一个弹簧的第二导电部分连接至所述第一移动件的第二导电部分，并且所述第二移动件的第一导电部分通过所述至少一个弹簧的第一导电部分连接至所述第一移动件的第一导电部分。

11.根据权利要求6所述的微机电系统装置，其中所述第一移动件具有至少一个导电通柱，所述至少一个导电通柱连接至所述第一移动件的第一导电部分和所述第一移动件的第二导电部分。

12.根据权利要求6所述的微机电系统装置，其中所述第二移动件具有至少一个导电通柱，所述至少一个导电通柱连接至所述第二移动件的第一导电部分和所述第二移动件的第二导电部分。