[发明专利]有机TFT阵列基板及其制造方法和电子纸显示装置无效
| 申请号： | 201110356385.1 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN102437173A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 汪梅林;张其国;潭莉;韩学斌;朱棋锋;申剑锋;郭晓东;于涛 | 申请（专利权）人： | 上海中科高等研究院 |
| 主分类号： | H01L27/32 | 分类号： | H01L27/32;H01L51/56;G02F1/167 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 孙大为 |
| 地址： | 201210 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机薄膜晶体管阵列基板，包括：衬底及在衬底上形成的阵列TFT单元；在每个TFT沟道的上覆盖有保护层，保护层分为两层，其中紧靠沟道的第一层为不透光材料，第二层为硬度大于第一层材料硬度的材料。本发明不增加光刻工艺，操作简单；同时可以保护沟道处的有机半导体材料不受后序处理的影响，提高生产良率，降低生产成本；此外，保护层还可以起到遮光的作用，提高最终产品的对比度。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 tft 阵列 及其 制造 方法 电子 显示装置 | ||
【主权项】：
一种有机薄膜晶体管阵列基板，包括：衬底及在衬底上形成的阵列TFT单元；其特征在于：在每个TFT沟道的上覆盖有保护层，保护层分为两层，其中紧靠沟道的第一层为不透光材料，第二层为硬度大于第一层材料硬度的材料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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