[发明专利]脉冲激光刻蚀双面ITO玻璃上导电膜层的装置及其方法

摘要

本发明涉及脉冲激光刻蚀双面ITO玻璃上导电膜层的装置及方法，膜材的正面和背面各布置一套脉冲激光刻蚀装置，每套脉冲激光刻蚀装置包含高频率短脉冲激光器、半透半反镜、格兰棱镜和全反镜，高频率短脉冲激光器输出端依次布置光闸、扩束镜和半透半反镜，半透半反镜输出端布置第一1/2波片和全反镜，第一1/2波片输出端依次布置第一格兰棱镜和第一3D动态聚焦镜，第一3D动态聚焦镜输出端布置第一振镜，全反镜输出端布置第二1/2波片，第二1/2波片输出端依次布置第二格兰棱镜和第二3D动态聚焦镜，第二3D动态聚焦镜输出端布置第二振镜，第一振镜和第二振镜输出端均正对于膜材表面。用于对不同触摸屏产品中双面ITO玻璃进行蚀刻，实现高效率高精度线路制作。

主权项

脉冲激光刻蚀双面ITO玻璃上导电膜层的装置，膜材（12）由夹紧气缸（13）夹紧固定，其特征在于：所述膜材（12）的正面和背面各布置一套相同的脉冲激光刻蚀装置，所述每套脉冲激光刻蚀装置均包含高频率短脉冲激光器（1）、扩束镜（3）、半透半反镜（4）、格兰棱镜（6）和全反镜（16），高频率短脉冲激光器（1）的输出端布置有光闸（2），光闸（2）的输出端设置有扩束镜（3），扩束镜（3）的输出端布置有半透半反镜（4），半透半反镜（4）的输出端布置有第一1/2波片（5）和全反镜（16），第一1/2波片（5）的输出端布置有第一格兰棱镜（6），第一格兰棱镜（6）的输出端布置有第一3D动态聚焦镜（7），第一3D动态聚焦镜（7）的输出端布置有第一振镜（8），全反镜（16）的输出端布置有第二1/2波片（17），第二1/2波片（17）的输出端布置有第二格兰棱镜（18），第二格兰棱镜（18）的输出端布置有第二3D动态聚焦镜（19），第二3D动态聚焦镜（19）的输出端布置有第二振镜（20），第一振镜（8）和第二振镜（20）的输出端均正对于膜材（12）的表面，膜材（12）的表面上布置有CCD对位观察系统（9），膜材（12）的一侧布置有吹气系统（11），另一侧安装有集尘系统（10），高频率短脉冲激光器（1）、第一振镜（8）和第二振镜（20）通过通讯系统（15）连接工控机（14）。