[发明专利]衬底处理装置、衬底处理装置的温度控制方法及衬底处理装置的加热方法

摘要

本发明提供一种衬底处理装置。能够抑制利用温度传感器控制热处理时的不良情况。衬底处理装置具有：加热机构，其对收容衬底的处理室进行加热；第一温度检测机构，其利用第一热电偶对衬底的附近的温度进行检测；第二温度检测机构，其利用第二热电偶对加热机构的附近的温度进行检测；第一控制机构，其根据由第一温度检测机构检测的温度及由第二温度检测机构检测的温度对加热机构进行控制；控制切换机构，其以控制机构对第一控制模式和第二控制模式进行切换的方式，根据由第一温度检测机构检测的温度及由第二温度检测机构检测的温度对控制机构进行控制，第一热电偶的耐热性比第二热电偶的耐热性大，第二热电偶的温度检测性能比第一热电偶的温度检测性能高。

主权项

一种衬底处理装置，其特征在于，具有：加热机构，其对收容衬底的处理室进行加热；第一温度检测机构，其利用第一热电偶对所述衬底附近的温度进行检测；第二温度检测机构，其利用第二热电偶对所述加热机构附近的温度进行检测；控制机构，其根据由所述第一温度检测机构检测的温度及由所述第二温度检测机构检测的温度对所述加热机构进行控制；控制切换机构，其根据由所述第一温度检测机构检测的温度及由所述第二温度检测机构检测的温度对所述控制机构进行控制，从而使所述控制机构对第一控制模式和第二控制模式进行切换，所述第一热电偶的耐热性比所述第二热电偶的耐热性大，所述第二热电偶的温度检测性能比所述第一热电偶的温度检测性能高。