[发明专利]一种用于旋涂设备的液位报警系统

摘要

本发明公开了一种用于旋涂设备的液位报警系统，包括源瓶以及出液管道，还包括：液位传感器、开关电路和主机；液位传感器设置在所述源瓶外能有效检测源瓶内液位的感应距离内；且液位传感器的设置高度与源瓶内液面的报警高度相匹配；当液位传感器检测到源瓶内的液面高度低于报警高度时，输出信号给开关电路；开关电路连接液位传感器和主机，将液位传感器的输出信号传送给所述主机；所述主机用于接收开关电路传送的信号，触发报警。本发明解决了因为旋涂装置的源瓶液位低于出液管道的下端端口时，不能及时报警或报警时已经产生气泡而导致硅片涂花的问题，且在需要换液时会减少人为因素导致的异常，同时也提高了生产效率。

主权项

一种用于旋涂设备的液位报警系统，包括源瓶以及出液管道，其特征在于，还包括：液位传感器、开关电路和主机；所述液位传感器，设置在所述源瓶外能有效检测源瓶内液位的感应距离内；且所述液位传感器的设置高度与所述源瓶内液面的报警高度相匹配；当所述液位传感器检测到所述源瓶内的液面高度低于所述报警高度时，输出信号给所述开关电路；所述开关电路，连接所述液位传感器和所述主机，将所述液位传感器的输出信号传送给所述主机；所述主机用于接收所述开关电路传送的信号，触发报警。